一、微位移机构中的“机械爬行”（论文文献综述）
娄志峰,魏超,张锋[1]（2017）在《转子质心微位移精密调整装置》文中进行了进一步梳理研制的陀螺动平衡调整装置通过协同调整转子质心在两个相互垂直方向上的位置实现质心任意方向的微调整。装置测量模块采用两个测头分别测量转子和壳体的位置,通过计算两者的位移差值与初始差值对比即可得到质心的调整位移量,从而消除弹性变形对测量结果的影响。调整时减小紧固螺钉旋紧扭矩可有效降低爬行现象的影响,提高调整成功率。为了控制调整方向,调整时在非调整方向施加一定的预紧力,可减小转子在非调整方向的位移量。采用上述调整策略可以达到±0.5μm的调整精度,提高了调整的成功率,满足了设计要求。
张锋[2]（2017）在《陀螺转子动平衡校正系统与工艺研究》文中研究表明其他陀螺相比,动力调谐陀螺仪结构简单,体积小巧,重量轻,成本低廉,精度及可靠性高,功耗小,使用寿命长,因而广泛应用于飞机、舰艇以及航空航天等各种先进武器系统等设备的惯导系统中。挠性陀螺转子作为动力调谐陀螺仪的关键部件,其在高速运动下的动平衡指标是保障陀螺仪精度的重要保证。目前由于陀螺仪转子的结构尺寸及装配工艺限制,陀螺转子动平衡仍以人工调整为主,调整的效率及精度主要靠工人长期工作积累的经验保证且效率低下。为了提高动力调谐陀螺仪的使用精度以及提高陀螺转子动平衡的效率,设计制造出一台陀螺转子动平衡校正系统显得十分必要。本系统主要包含以下部分:陀螺装夹模块、转子位置测量模块、转子动平衡校正模块、机器视觉模块以及工业计算机。陀螺装夹模块主要作用是在校正过程中固定陀螺仪,并通过自带的owis升降平台保证转子轴径处调整螺纹孔与调整螺钉处于同一高度,为了消除转子转动给测量带来的不准确性还加入了气动夹紧装置,转子位置测量模块通过双位移传感器装置可有效测量转子实际位移量,转子动平衡校正模块主要通过拖拽调整螺钉实现转子移动,机器视觉模块用以实现调整螺纹孔的自动对准功能。基于labview图形化编程语言编写了转子动平衡校正设备的控制程序,实现各模块间的实时通讯。在校正过程中发现由于转子与轴承端面间摩擦力较大,故而转子爬行现象明显,通过对整个校正系统建立二元振子模型,推导出其动力学表达式并以此得出影响转子爬行的主要因素。为了得出各主要影响因素对爬行现象的影响,利用Adams仿真软件对整个校正系统进行仿真分析,以此优化设计结构及校正工艺。通过在前后的设备上进行校正实验,验证了仿真结果的正确性,并在校正过程中有效减小爬行现象的产生。本设备可实现陀螺转子动平衡的精密校正,其校正精度可达±0.5μm,满足调整要求,且调整效率明显高于人工手动调整,并且杜绝了手动调整过程中因调整螺钉旋转产生的碎屑问题,减小了对陀螺仪的污染,满足设计要求。
魏超[3]（2016）在《陀螺转子质心微位移调整系统及相关问题》文中进行了进一步梳理挠性陀螺仪是惯性导航中的重要部件,由于陀螺的工作环境较为特殊,对陀螺的工作可靠性和稳定性的要求都极为严苛。陀螺动平衡是影响陀螺性能的主要因素,单纯通过提高各个部件的加工精度来实现整体工作性能的提升不仅加工成本比较高,而且对加工技术的要求也十分高,实现起来其难度很大。因此在保证陀螺仪各个部件的加工精度的同时,通过动平衡校正的方式来实现其动平衡的调整是十分重要的。为了解决航空工业中挠性陀螺动平衡精密调整难题,研制了挠性陀螺质心微位移调整设备。挠性陀螺质心微位移调整设备采用模块化设计的思想,整个设备分为陀螺夹持模块、机器视觉模块、转子调整模块和转子位移测量模块四个部分。设备通过精密调整陀螺转子的质心位置来实现陀螺仪转子的惯性主轴与旋转主轴之间的距离处于允许范围内,从而达到转子动平衡精度调整的目的。本文针对陀螺质心微位移调整设备测控软件与调整影响因素进行了深入研究,实现了陀螺转子质心精密调整的目的。陀螺转子质心调整程序基于LabVIEW编写,采用模块化的思想进行编写将整个程序分为系统初始化模块、参数输入模块、螺纹孔对准模块、转子质心调整模块、陀螺仪取出模块和手动控制模块,合理的设计了各个模块的工作流程。陀螺转子质心调整程序采用LabVIEW中的通知器通信技术实现了模块之间的同步控制；利用LabVIEW提供的IMAQ Vision模块实现了螺纹孔图像采集、处理以及螺纹孔的拟合,保证了螺纹孔和调整螺钉的对准；采用VISA节点实现了电感测微仪与工控机之间的串口通信,保证了转子质心位移量的准确测量。针对陀螺仪转子质心微位移调整过程,分析了转子质心位置调整中的影响因素：紧固螺钉的旋紧扭矩和调整螺钉和螺纹孔的轴线间的夹角。针对装置中电感测微仪的零漂、调整螺钉旋入的重复性进行了实验验证,实验结果表明调整螺钉旋转的重复性满足要求；采用两个电感测微仪差值时,零漂不会对转子位移的测量结果产生影响。采用陀螺仪转子质心微位移调整设备进行了调整实验,实验结果表明陀螺转子质心调整设备达到设计要求。
黄娟,肖铁忠,高静,罗静[4]（2014）在《刀具磨损自动补偿精密镗削结构设计与研究》文中研究表明针对某缸体缸孔精加工工序,设计了刀具磨损自动补偿镗削结构,详细阐述了微位移机构的组成与原理,微位移机构精度可达±1μm,径向最大位移为0.1 mm。对微位移机构驱动器即压电陶瓷受力时的电压-位移特性做了分析,实际应用时需考虑零点偏移对刀具磨损补偿的影响。利用HyperMesh有限元软件对镗削结构的静动态特性进行分析,验证结构设计的合理性。实际生产应用表明,此关键工序的生产效率提高了30%左右,生产成本降低了近两成。
王楚男[5]（2013）在《ICU测试用运动台系统的设计与研究》文中进行了进一步梳理湿法光刻技术是通过在最后一级投影物镜与硅片之间填充一层高纯液体,从而获得优于传统干式光刻技术的分辨率,使用该技术的湿法光刻机是目前最先进的IC生产装备之一。湿法光刻机中,有一个用于控制高纯液体的注入与回收、维持湿法光刻工作流场的稳定的ICU结构。为了对ICU的结构进行优化设计,需要对ICU及流经该ICU形成的湿法光刻工作流场进行相关的性能测试与观测；为了得到更加可信的试验数据,需要在接近湿法光刻机正常工作的工况下进行相关试验。所以设计开发一套ICU测试用运动台系统具有非常重要的意义。根据对湿法光刻机步进扫描工作台的技术调研结果及实际的试验需求,针对ICU测试用运动台系统的设计研究,本课题完成的工作如下：1、进行总体设计时,将ICU测试用运动台系统分为机械结构系统和电气控制系统,然后根据功能需要再将其机械结构系统分为二维运动平台和ICU空间位姿调整机构分别进行设计。2、根据从底部观测湿法光刻工作流场平面的方案,在对模拟湿法光刻机步进扫描工作台运动的二维运动平台进行结构设计时采用多层台结构：其中粗动台采用“口字”型驱动导向机构布局、有铁芯电磁式直线电机驱动、滚动直线轴承直线运动导向等技术；微动台是一个底部使用气浮隔振的手动台。3、根据对ICU空间位姿调整的需求,设计了一种新型的基于3-PSR-V并联机构的ICU空间位姿调整机构,在该机构中,使用了一套激光位移测量系统对ICU空间位姿调整进行校正。4、根据运动台的运动控制需求,设计开发了一套运动台电气控制系统。5、完成了ICU测试用运动台中二维运动平台系统相关性能的测试。测试结果表明,所设计的二维运动平台满足预期要求。
田学光[6]（2010）在《测绘相机标定转台结构系统关键技术研究》文中研究说明测试转台根据不同的使用要求都有各自的特点,标定测绘相机对转台提出了新的要求,包括大的尺寸结构,低矮的垂直轴结构、大的承载力、高的定位精度和稳定性。本文针对实际工程项目测绘相机标定转台结构系统关键技术进行研究。从转台的特点出发,对转台的结构方案、驱动方案、测角方案和电控方案进行了分析研究。对转台的结构关键技术进行了深入研究:包括针对大型件的,低矮的高刚度结构和轻量的高刚度结构;高精度和高稳定性的密珠轴系结构;高分辨率和高稳定性的角度微驱动装置。对转台的各项误差进行了分析检测。引用多体系统理论方法对转台的定位误差进行研究,推导了定位误差公式,并应用定位误差公式对转台的各项误差的影响程度进行了分析。采用理论和工程实践相结合的方法,围绕转台的具体结构设计、误差分析和精度检测进行深入研究。文章中理论研究包括:粗精结合的双驱动方案、微位移技术研究、精度检测方法研究、多体系统理论研究、定位误差研究。工程实践包括:大型结构件的设计,轴系设计,角度微驱动装置设计。主要针对转台要求高精度、高稳定性和大尺寸、大载荷的特点,分别从结构方面和精度方面进行了分析研究。为了解决大角度、高精度的矛盾,提出了粗精结合的方法,即采用力矩电机粗定位和采用角度微驱动装置精确定位的双驱动方案;提出了一种变精密直线位移为精密旋转角位移的原理,并依据此原理设计出了角度微驱动装置,利用此装置,可以在小角度范围内获得高的定位精度,满足了转台高精度的使用要求;引入了多体系统的理论方法,通过此理论能够分析各项误差对定位误差的影响,还利用matlab图形仿真的方法,就各项误差对转台定位误差的影响进行了仿真分析计算,通过图形能够很直观的看出各误差对定位误差的影响,便于在总体设计中进行误差的合理分配,最主要的是可以通过预先计算得到的误差数据,在转台的实际工作中对误差进行预测分析和修正。本文的研究为研制大型精密标定转台提供了理论依据和实际的工程经验,具有突出的理论意义与现实意义。
夏一[7]（2009）在《基于隧道效应的纳米级传感系统的研究》文中指出随着纳米技术时代的到来,测量已经进入了纳米、埃米量级。扫描隧道显微镜（STM）是纳米研究中最有力的工具之一。STM的测量原理是隧道效应,隧道电流与隧道间隙之间呈指数关系。隧道间隙只有几个纳米,微小的改变也会引起隧道电流极大的变化。因此基于此原理可以开发出具有极高灵敏度的传感器。本论文即是基于隧道效应的纳米级传感系统的研究。本论文的主要研究内容包括:1.全面了解了纳米级传感技术的发展情况,对基于隧道效应的纳米级传感系统进行了整体设计。针对系统中的微位移机构以及反馈控制部分进行了深入的研究和设计。2.对压电陶瓷的特性进行了理论分析,实验测试了WTYD系列压电陶瓷的固有特性。3.对柔性铰链结构进行了力学分析。比较了各种柔性铰链结构优缺点,设计了适合于本系统的柔性铰链结构。4.完成了微位移机构及探针夹持器的整体组装,实验测试了微位移机构的特性以及性能。5.对PID反馈控制进行了研究,设计了适合于本系统的反馈控制电路。6.对基于隧道效应的纳米级传感系统进行了实验测试,完全可以在隧道状态下稳定工作,达到纳米级精度。7.分析了实验系统中的误差来源,提出后续需要改进和解决的地方,为基于隧道效应的纳米级传感技术打下了基础。
张玲玲[8]（2009）在《精密微位移调整系统的设计与研究》文中进行了进一步梳理随着科学技术的发展,微位移技术已经深入到机械设计领域。它使得精确定位不再是难题。论文结合长春光机所基金项目（精密微位移调整台架的设计与研究）,以精密微位移调整系统为研究对象,针对车辆在装配过程中,很难确定装配基准点与基准线的实际问题,对精密微位移调整系统中的精密调整台架进行了系统的设计与研究。确定了精密微位移系统的总体方案;完成了精密调整台架的整体结构设计;利用三维软件CATIA绘制了台架的整体以及内部机构的三维模型;完成了精密调整台架中关键件导轨的有限元分析;通过试验确定了导轨的精度。本文对于研究如何将微位移技术应用于精确定位研究提供了一定的理论基础。
刘登云,杨志刚,程光明,曾平[9]（2007）在《微位移机构的现状及趋势》文中指出微位移机构是精密机械和精密仪器的关键部件之一。介绍了一些典型的微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机构进行了比较。
刘振波[10]（2007）在《微位移技术研究》文中提出本文以精密机械与精密仪器的关键技术之一—微位移技术为研究对象，介绍了包括直线电机式微位移机构、机械传动式微位移机构、扭轮摩擦传动式微位移机构、弹性变形传动式微位移机构、压电元件与电致伸缩式微位移机构、热变形式微位移机构、磁致伸缩式微位移机构、柔性铰链式微位移机构的结构在内的多种微位移机构，阐述了各机构的结构、原理、特点、应用及发展现状。同时本文以上述研究为基础着重阐述了压电／电致伸缩微位移器件和摩擦传动微进给机构两种微位移机构，并以实际器件和机构为例给出了其相关的使用特性。 最后，本文设计了一套机械式微位移机构，对其进行了精度分析并通过实验给出了该机构的微位移特性。
二、微位移机构中的“机械爬行”（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、微位移机构中的“机械爬行”（论文提纲范文）
（1）转子质心微位移精密调整装置（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 陀螺转子动平衡调整系统 |
| 2 转子质心调整影响因素分析 |
| 2.1 紧固螺钉旋紧扭矩 |
| 2.2 调整方向的控制 |
| 3 陀螺动平衡调整实验 |
| 4结论 |
（2）陀螺转子动平衡校正系统与工艺研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题研究背景及意义 |
| 1.2 挠性转子动平衡 |
| 1.2.1 挠性转子不平衡原因及危害 |
| 1.2.2 挠性转子动平衡技术 |
| 1.3 微位移机构 |
| 1.3.1 机械传动式微位移机构 |
| 1.3.2 直线电机微位移机构 |
| 1.3.3 热变和弹性变形式微位移机构 |
| 1.3.4 磁致伸缩式和铰链连接式微位移机构 |
| 1.3.5 压电伸缩式微位移机构 |
| 1.4 摩擦及爬行现象 |
| 1.4.1 爬行定义 |
| 1.4.2 爬行机理 |
| 1.4.3 爬行的国内外研究进展 |
| 1.5 本文研究内容和章节安排 |
| 2 陀螺转子动平衡校正设备研制 |
| 2.1 动力调谐陀螺仪简介及动平衡校正原理 |
| 2.2 陀螺转子动平衡校正设备 |
| 2.2.1 转子位置测量模块 |
| 2.2.2 机器视觉模块 |
| 2.2.3 陀螺装夹模块 |
| 2.2.4 转子动平衡校正模块 |
| 2.3 动平衡校正设备控制系统 |
| 2.4 设备软件功能介绍 |
| 2.4.1 设备所需控制功能 |
| 2.4.2 转子动平衡校正过程 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 转子爬行现象的理论及仿真分析 |
| 3.1 几种常见的爬行模型 |
| 3.2 转子动平衡校正系统摩擦模型 |
| 3.3 动平衡校正系统的Adams仿真分析 |
| 3.3.1 Adams介绍及应用范围 |
| 3.3.2 转子动平衡校正系统的Adams仿真分析 |
| 3.3.3 减小爬行现象的措施 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 动平衡校正设备及工艺优化 |
| 4.1 校正工艺优化 |
| 4.2 校正设备优化 |
| 4.3 动平衡校正实验 |
| 4.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
（3）陀螺转子质心微位移调整系统及相关问题（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 1 绪论 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 |
| 1.2 陀螺仪动平衡技术 |
| 1.2.1 陀螺仪特性与分类 |
| 1.2.2 转子不平衡产生原因 |
| 1.2.3 动平衡测量与校正 |
| 1.2.4 动平衡理论研究现状 |
| 1.3 微位移技术 |
| 1.3.1 螺旋式微位移机构 |
| 1.3.2 差动螺旋式微位移机构 |
| 1.3.3 直线电机式微位移结构 |
| 1.3.4 组合式微位移机构 |
| 1.3.5 压电式微位移机构 |
| 1.3.6 热变形式微位移机构 |
| 1.3.7 磁致伸缩式微位移机构 |
| 1.3.8 微位移技术国内外研究现状 |
| 1.4 课题研究内容和章节安排 |
| 2 陀螺转子质心微位移调整设备 |
| 2.1 陀螺仪简介 |
| 2.2 陀螺转子质心微位移调整设备 |
| 2.3 计算机控制系统及硬件控制电路 |
| 2.4 程序功能规划 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 陀螺动平衡调整测量与控制软件 |
| 3.1 LabVIEW图形化软件 |
| 3.2 转子质心调整流程 |
| 3.3 陀螺转子质心微位移调整程序 |
| 3.3.1 系统初始化模块与参数输入模块 |
| 3.3.2 螺纹孔对准模块 |
| 3.3.3 转子调整模块 |
| 3.3.4 陀螺仪取出模块与手动控制模块 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 转子质心调整影响因素分析与实验 |
| 4.1 紧固螺钉旋紧扭矩 |
| 4.2 调整螺钉和螺纹孔轴线夹角 |
| 4.3 预紧力大小控制实验 |
| 4.4 电感测微仪零漂实验 |
| 4.5 调整螺钉旋转重复性实验 |
| 4.6 陀螺动平衡调整实验 |
| 4.7 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 |
| 致谢 |
（4）刀具磨损自动补偿精密镗削结构设计与研究（论文提纲范文）
| 1 微位移自动补偿镗削结构设计 |
| 1.1 镗削结构设计 |
| 1.2 微位移自动补偿机构 |
| 2 位移特性分析 |
| 3 镗杆有限元分析 |
| 3.1 镗杆几何模型及有限元模型的建立 |
| 3.1.1 几何模型的建立 |
| 3.1.2 材料属性 |
| 3.1.3 网格划分 |
| 3.2 镗杆静动态特性分析 |
| 3.2.1 镗杆静态分析 |
| 3.2.2 镗杆动态分析 |
| 4 镗削结构的应用 |
| 5 结语 |
（5）ICU测试用运动台系统的设计与研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 目次 |
| 1 绪论 |
| 1.1 湿法光刻技术的发展 |
| 1.1.1 光刻技术 |
| 1.1.2 湿法光刻技术 |
| 1.2 ICU测试用运动台的背景 |
| 1.2.1 光刻机步进扫描工作台 |
| 1.2.2 微位移机构 |
| 1.3 课题研究的目的与内容 |
| 1.3.1 课题的研究目的 |
| 1.3.2 课题研究的内容 |
| 1.4 本章小结 |
| 2 ICU测试用运动台系统的总体设计 |
| 2.1 运动台系统的构成 |
| 2.2 运动台系统的总体结构方案设计 |
| 2.2.1 运动台系统的模块分解及功能划分 |
| 2.2.2 运动台系统主要性能参数的分配 |
| 2.3 运动台系统设计的基本原则 |
| 2.4 本章小结 |
| 3 二维运动平台的结构设计 |
| 3.1 二维运动平台的总体结构方案设计 |
| 3.2 二维运动平台机械结构零部件的设计 |
| 3.2.1 二维运动平台负载部分设计 |
| 3.2.2 驱动及位置检测系统的设计 |
| 3.2.3 基座部分的设计 |
| 3.3 基于有限元分析的二维运动平台结构校核 |
| 3.3.1 Z向导向轴的设计校核 |
| 3.3.2 X向导向轴的设计校核 |
| 3.3.3 Y向导向轴的强度校核 |
| 3.4 本章小结 |
| 4 基于新型3-PSR-V并联机构的ICU空间位姿调整机构设计 |
| 4.1 ICU空间位姿调整机构的总体方案设计 |
| 4.1.1 ICU空间位姿分析 |
| 4.1.2 新型3-PSR-V并联机构 |
| 4.1.3 ICU空间位姿调整机构的性能参数 |
| 4.1.4 ICU空间位姿调整机构的整体设计方案 |
| 4.2 ICU空间位姿调整机构零部件的设计 |
| 4.2.1 ICU夹持与旋转副功能实现 |
| 4.2.2 移动副与转动副功能的实现 |
| 4.2.3 驱动电机的选择 |
| 4.3 基于有限元分析的ICU空间位姿调整机构结构校核 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 运动台的电气控制系统设计 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 运动台的控制功能方案设计 |
| 5.2.1 运动台的总体控制功能方案设计 |
| 5.2.2 运动台功能类元器件选型 |
| 5.2.3 运动台运动控制系统的控制原理 |
| 5.3 运动台的电气控制实现 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 运动台的性能测试分析 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 二维运动平台控制系统测试 |
| 6.2.1 二维运动平台运动控制策略介绍 |
| 6.2.2 二维运动平台控制系统测试的步骤 |
| 6.3 二维运动平台机械性能测试 |
| 6.3.1 二维运动平台的振动测试 |
| 6.3.2 承片台的平面度测试 |
| 6.4 本章小结 |
| 7 总结与展望 |
| 7.1 总结 |
| 7.2 工作展望 |
| 参考文献 |
（6）测绘相机标定转台结构系统关键技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 国内外测试转台技术研究状况 |
| 1.1.1 国外测试转台技术研究状况 |
| 1.1.2 国内测试转台技术研究状况 |
| 1.2 研制测绘相机标定转台的目的意义 |
| 1.3 转台研制涉及到的关键技术 |
| 1.3.1 一般转台研制的关键技术 |
| 1.3.2 测绘相机标定转台研制的关键技术 |
| 1.4 文章研究的主要内容和结构 |
| 第2章 转台总体构成 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 测绘相机对转台的要求 |
| 2.3 转台结构方案确定 |
| 2.3.1 转台常见结构形式 |
| 2.3.2 转台的常见传动方式 |
| 2.3.3 转台的轴系结构形式 |
| 2.3.4 转台结构方案的确定 |
| 2.4 转台的构成 |
| 2.4.1 机械系统构成 |
| 2.4.2 测角系统构成 |
| 2.4.3 电控系统构成 |
| 2.5 转台的特点 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 转台结构关键技术分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 轻质量、高刚度的大型结构件设计 |
| 3.2.1 转台大型结构件的轻质量、高刚度设计思想 |
| 3.2.2 三维建模技术和有限元在大型结构件设计和分析中的应用 |
| 3.3 高精度、高稳定性的密珠轴系设计 |
| 3.3.1 密珠轴系结构形式 |
| 3.3.2 密珠轴系关键技术分析 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 转台微驱动系统设计 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 微位移技术 |
| 4.2.1 微位移系统构成 |
| 4.2.2 微位移驱动器分类及其优缺点 |
| 4.2.3 微动工作台导轨形式及其特点 |
| 4.2.4 国内外微位移机构研究状况 |
| 4.2.4.1 常见微位移机构分类及应用 |
| 4.2.4.2 国内外研究现状 |
| 4.2.4.3 微位移机构存在的问题 |
| 4.2.5 对转台微驱动系统设计的启示 |
| 4.3 转台微驱动系统构成、原理和特点 |
| 4.3.1 转台微驱动系统的构成 |
| 4.3.2 转台微驱动装置原理 |
| 4.3.2.1 变直线微位移为角位移的角位移转换机构的微角度转化原理 |
| 4.3.2.2 角度微驱动装置驱动转台运动过程 |
| 4.3.3 转台微驱动系统的特点 |
| 4.4 角度微驱动装置设计与分析 |
| 4.4.1 角度微驱动装置结构设计 |
| 4.4.1.1 直线微位移机构设计 |
| 4.4.1.2 角位移转换机构设计 |
| 4.4.1.3 电磁导向切换机构设计 |
| 4.4.2 角度微驱动装置运动学分析 |
| 4.4.3 角度微驱动装置失动量分析 |
| 4.4.3.1 角度微驱动装置刚度分析 |
| 4.4.3.2 角度微驱动装置失动量分析 |
| 4.4.4 角度微驱动装置产生爬行的临界速度分析 |
| 4.5 角度微驱动装置分辨率分析与测试 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 转台精度检测 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 三轴误差的分析和测试 |
| 5.2.1 垂直轴倾斜误差 |
| 5.2.2 水平轴倾斜误差 |
| 5.2.3 相机视轴误差（照准差） |
| 5.2.4 三轴误差的调整 |
| 5.3 轴系晃动误差的分析和测试 |
| 5.3.1 轴系晃动误差的概念 |
| 5.3.2 轴系晃动误差的检测原理 |
| 5.3.3 轴系晃动误差的检测结果 |
| 5.3.4 减小轴系晃动误差的方法 |
| 5.4 编码器误差分析与测试 |
| 5.4.1 编码器误差的检测方法 |
| 5.4.2 排列互比法检测原理 |
| 5.4.3 编码器测量误差的检测 |
| 5.5 本章小结 |
| 第6章 转台定位误差研究 |
| 6.1 引言 |
| 6.2 多体系统的拓扑结构分析 |
| 6.2.1 多体系统的拓扑结构及其低序体阵列描述 |
| 6.2.2 系统中相邻体及其特征矩阵 |
| 6.3 基于多体系统理论的转台定位误差 |
| 6.3.1 转台的拓扑结构 |
| 6.3.2 参考坐标系的设定 |
| 6.3.3 变量定义及分类 |
| 6.3.4 各体间的位置和位移及其变换矩阵 |
| 6.3.5 各体间的位置误差和位移误差及其变换矩阵 |
| 6.3.6 转台定位误差模型的建立 |
| 6.4 各项误差对转台定位误差的影响分析 |
| 6.4.1 误差项与非误差量定义和计算用值 |
| 6.4.2 利用球面三角法推导的各项误差对转台定位误差的影响公式 |
| 6.4.3 利用多体系统理论计算各项误差对转台定位误差的影响 |
| 6.4.3.1 垂直轴倾斜误差（I）引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.2 横轴倾斜差（B）引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.3 照准差（C）引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.4 竖轴晃动误差引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.5 横轴晃动误差引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.6 三项（I、B、C）综合误差引起的方位、俯仰误差 |
| 6.4.3.7 五项（I、B、C、W、S、U、V）综合误差引起的方位、俯仰误差 |
| 6.5 包含晃动误差的定位误差公式 |
| 6.6 各误差项对方位、俯仰误差影响程度分析和对设计的指导 |
| 6.6.1 各误差对方位、俯仰误差的影响程度分析 |
| 6.6.2 对设计的指导 |
| 6.7 本章小结 |
| 第7章 结论与展望 |
| 7.1 论文的研究结论 |
| 7.2 本论文的创新点 |
| 7.3 进一步研究工作与展望 |
| 参考文献 |
| 附录:matlab 程序 |
| 在学期间学术成果情况 |
| 指导教师及作者简介 |
| 致谢 |
（7）基于隧道效应的纳米级传感系统的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 纳米技术研究内容 |
| 1.2 扫描隧道显微镜及其原理 |
| 1.3 纳米级传感技术 |
| 1.4 本课题研究的内容和意义 |
| 第二章 纳米级传感系统整体设计 |
| 2.1 微检测装置 |
| 2.2 微位移机构的设计 |
| 2.3 反馈控制电路的设计 |
| 第三章 微位移机构的设计和安装 |
| 3.1 柔性铰链结构的对比与选择 |
| 3.2 六连杆柔性铰链结构的分析 |
| 3.3 柔性铰链结构几何参数的优化设计 |
| 3.4 六连杆柔性铰链结构的材料选择 |
| 3.5 微位移机构及探针夹持器的设计安装 |
| 第四章 实验及数据处理 |
| 4.1 压电陶瓷及微位移机构标定试验 |
| 4.2 纳米级传感系统的搭建与调试 |
| 第五章 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 发表论文和参加科研情况说明 |
| 致谢 |
（8）精密微位移调整系统的设计与研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 目录 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 国内外微位移技术发展现状 |
| 1.3 微位移机构介绍 |
| 1.4 精密工作台发展和研究概况 |
| 1.5 本文研究内容 |
| 第二章 总体方案的设计 |
| 2.1 总体技术指标 |
| 2.2 系统的组成及工作原理 |
| 2.3 设备的使用要求 |
| 2.4 精密微位移调整台架理论模型 |
| 2.5 光电仪器的选择 |
| 2.6 总体方案设计 |
| 2.7 本章小结 |
| 第三章 精密微位移调整台架整体结构设计 |
| 3.1 关于CATIA |
| 3.2 精密微位移工作台整体结构 |
| 3.3 直线位移机构设计 |
| 3.4 回转机构设计 |
| 3.5 俯仰机构的设计 |
| 3.6 精密微位移调整台架三维模型 |
| 3.7 本章小结 |
| 第四章 滚动直线导轨副的有限元分析 |
| 4.1 有限元软件 |
| 4.2 基于ANSYS的静刚度数值分析 |
| 4.3 滚动直线导轨副的模态分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 滚动直线导轨副的精度研究 |
| 5.1 导轨副运动精度分析 |
| 5.2 本章小结 |
| 结论 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
（10）微位移技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 目录 |
| 第一章 绪论 |
| §1.1 引言 |
| §1.2 国内外现状及发展趋势 |
| §1.3 系统研制的目的和意义 |
| 第二章 微位移机构介绍 |
| §2.1 微位移机构分类及应用 |
| §2.2 常用工作台简介 |
| §2.3 小结 |
| 第三章 压电/电致伸缩微位移器件 |
| §3.1 压电、电致伸缩微位移器件 |
| §3.2 压电、电致伸缩微位移器件特性 |
| §3.3 压电、电致伸缩微位移器的应用 |
| §3.4 现状与前景 |
| 第四章 步进电机驱动的摩擦传动微进给机构设计 |
| §4.1 摩擦传动机构设计 |
| §4.2 位移性能测试 |
| §4.3 精度分析 |
| §4.4 小结 |
| 第五章 微位移机构测试实验 |
| §5.1 实验目的 |
| §5.2 实验原理 |
| §5.3 实验设备 |
| §5.4 实验数据 |
| §5.5 实验结果分析 |
| 总结 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
四、微位移机构中的“机械爬行”（论文参考文献）
- [1]转子质心微位移精密调整装置[J]. 娄志峰,魏超,张锋. 传感器与微系统, 2017(05)
- [2]陀螺转子动平衡校正系统与工艺研究[D]. 张锋. 大连理工大学, 2017(04)
- [3]陀螺转子质心微位移调整系统及相关问题[D]. 魏超. 大连理工大学, 2016(03)
- [4]刀具磨损自动补偿精密镗削结构设计与研究[J]. 黄娟,肖铁忠,高静,罗静. 制造技术与机床, 2014(08)
- [5]ICU测试用运动台系统的设计与研究[D]. 王楚男. 浙江大学, 2013(S2)
- [6]测绘相机标定转台结构系统关键技术研究[D]. 田学光. 中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）, 2010(10)
- [7]基于隧道效应的纳米级传感系统的研究[D]. 夏一. 天津大学, 2009(S2)
- [8]精密微位移调整系统的设计与研究[D]. 张玲玲. 长春理工大学, 2009(02)
- [9]微位移机构的现状及趋势[J]. 刘登云,杨志刚,程光明,曾平. 机械设计与制造, 2007(01)
- [10]微位移技术研究[D]. 刘振波. 长春理工大学, 2007(01)