问：超精密机械加工技术究竟是怎样的呢？
- 答：超精密机械加工是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺，综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术中先进的控制、测试手段等，使机械加工的精度得到进一步提高，使加工的极限精度向纳米和亚纳米精度发展。超精密机械加工的方法很多有切削、磨削等等。其中超精密切削技术是使用精密的单晶天然金刚石道具加工有色金属和非金属。超精加工的分类有去除加工、结合加工、变形加工。超精密机械加工技术是衡量一个国家先进制造技术水平的重团桐要指标之一，是先进制造技术的基础和关键。在目前，在工业发达国家中，一般工厂能稳定掌握的加工精度是1μm。超精密机械加工技术的指标为精密加工精度为 1—0.1μm，表面粗糙度值为：Ra0．3-0.03μm； 超精密加工精度为0.1-0.01μ m表面粗糙度值为Ra0.03-0.005μm， 又称亚微米梁或桥加工；（1微米=0.001mm）,纳米加工精度高于 0.03 μ m， 表面粗糙度值小于 橡猛Ra 0.005μ m。 超精密机械加工技术提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。精密和超精密加工目前包含三个领域。实现超精密加工的方法主要有：超精密切削，如超精密金刚石刀具镜面车削、镗削和铣削等；超精密磨削、研磨和抛光；超精密微细加工（电子束、离子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技术等）。
- 答：超精密机械加工技术在微光学元件加工中的应用超精密机械加工技术是利用刀具改变材料形状或破坏材料表层，以切削形式来达到所要求的形状。如单晶金刚石车削与铣削、磨削、快速切削和机械抛光等。本节主要讲述超精密机械加工技术用于加工光学元件及其模具。2.1超精密机床关键技术发展 计算机辅助设计技术，尤其是有限元分析技术的发展，为超精密机床整体结构优化设计提供了便利手段，使得机床刚度和稳定性不断提高。目前单晶金刚石车床的典型结构具有“T”型布局结构，主轴一般装在X 向导轨上，刀具装在Z 向导轨上。在近十几年内，随着计算机技术的高 速发展，超精密机床的一些关键技术，如控制技术、反馈系统、伺服驱动装置等方面有了很大的进步，提高了超精密机床的加工精度，目前， 超精密已能够直接加工出粗糙度达1nm的表面。这些关键技术的发展概括起来有以下几个方面：用天然花岗岩作机床床身，它具有数孙非常高的热稳定性和机械稳定性；利用空气弹簧系统隔振；利用液体或气体静压导轨，使阻尼增大，运动光滑，无摩擦；直流直线电机快速驱动系统，具有较好的动拦毕顷态刚度；高速空简陆气主轴，承载能力高，刚度大，可提高加工精度；开放式计算机数控技术（CNC），便于应用第三方控制软件，提高加工精度；高分辨率检测装置，可以提供精确的位置反馈；利用快速伺服机构，实现多轴系统的宏微结合技术，用以加工复杂型面；在线测 量和误差补偿技术，正确测量工件残余误差并最终消除误差。
- 答：超精密加工技术对某些结构光学元件的加工具有很多优点，但将超精密加工技术与复制成型技术结合起来或许是加工微光学元件最有效的方式，即用超精密加工技术来加工复制模具，然后利用该模具制作出微光学元件。用单晶金刚石车床加工光学元件模具，需要注意选择合适的加工参数，以减小毛刺，降低模具的误差，另外要能加工出合适的金刚石刀具。用金刚石车床加工的模具来制作的菲涅尔透镜用于高架投影仪已获得巨大成功。3总结微光学技术的不断发展，对微光学元件制造技术提出了更高的要求，超精密机械加工技术，经过最近十多年来的快速发展，具键芹旅有很多传统光学制造技术，如光刻技术和LIGA 技术等所不具有的优势：①能加工真正的三维结构，且精度达纳米级；②能在模具上加工浮动对准结构；③能稿凳在同一元件上加工出不同深宽比的结构。在微光学制造领域，很多类似产品却是由很多不同方法加工而成的，这说明了微光学制造技术的不成熟性，尽管超精密机械加工技术在微光学元件及其模具加工中的应用具有很多的优点，但也仍是处于初步发展阶段。因此，超精密加工技术还具有很大的发展潜力。我们相信，超精密加工技术与复制成型技术结合，首慎必将会推动微光学及其集成技术的大力发展。
问：精密和超精密加工技术的介绍
- 答：精密和超精密加工技术近年来获得飞跃发展。本书是全面系统讲述精密和超精密加工技术的书，内容包括：超精密切削和金刚石刀具，精密和超精密磨削、研磨与抛光，精密和肢告超精密机床，精加工中的测量技术和在线误差补偿，微细加工技术，精加工的支撑环境，纳米技术腔亏。本书内容丰富，不仅系统讲述了精密加工的基础原理和技术，新技术在精加工中的应用，还介伍饥神绍了国内外的最新发展和成就。本书可供机制专业研究生和本科生作教材，同时也是科技人员的重要参考书。
问：超精密加工都有哪些特点？
- 答：①超精加工磨粒余改运动轨迹复杂，能由切削过程过渡到抛光过程，Ra值达0.01-0.04μm。
②超精加工磨条的粒度极细，只能切削工件凸峰，所以加工余量很小，一般为0.005-0.00025mm。
③磨条高速往复振动，磨条的微刃两面切削，磨屑易于清楚。不会在工件表面形成划痕。
④切削和卜速度低，磨条压力小唤毁穗，工件表面不易，不会表面，也不易使工件表面变形。
⑤超精加工的表面耐磨性好。
